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Semiconductor Technology eBook Series

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  • VLSI製程技術

    VLSI Process Technology

    by Kung Linliu ...
    Series Book 2 - Semiconductor Technology
    作者:林劉恭 博士本書是作者從事於半導體以及相關產業二十餘年的經驗，並參酌產業及學術相關論文加以整理而成，本書著重於工業的實用性，並加入基礎的學理，輔以註釋或參考資料，讀者可以自行搜尋更多更廣泛及深入的資料及訊息，以增進個人知識或是疑問的解答。本書的架構分為十三個章節，由基礎的技術及應用、延伸至技術的相關製程、材料及原理，其各章節的相關標題與相關內容如下所述:Part I半導體技術—簡史與市場:第一章的主要內容是介紹積體電路簡史、摩爾定律，以及市場概論；第二章的主要內容是介紹積體電路元件與製程；第三章的主要內容是介紹積體電路材料與矽晶圓。第四章的主要內容是介紹積體電路製程整合；第五章的主要內容是介紹隔離製程；Part II模組製程:第六章的主要內容是介紹微影技術；第七章的主要內容是介紹濕蝕刻與濕製程；第八章的主要內容是介紹電漿蝕刻製程；第九章的主要內容是... ... Read more

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